スパッタリング・ターゲット

次世代光メディア・光学デバイス用材料

記録膜用	Ge+α(Bi, In…), GeSeTe, AgGeSbTe etc.
保護膜用	ZnS-SiO2, Al2O3, Si3N4, B-Si, ZnO+α, SiC, SiAlNx, SiO2 etc.
反射膜用	Al-Ti, Al-Cr, Al-Ta, Ag合金, Al合金　 etc.
界面層・誘電体層用	Cr2O3, GeAl, GeCr, SiC, ZnO, AlN,TiO2,ZrO2, Nb2Ox, Nb-SiO2, etc.
反射防止（AR）膜用	High-n:TiO2, Nb2Ox, SrTiO3 etc. Low-n:SiO2, SiAlN etc.
次世代記録膜用	FePtAg-C, FePtCu-C, FePtAg-SiO2, FePtCu-SiO2

HDD・磁気記録用材料

記録膜用	CoCrPt-SiO2(*), FePt, CoCrPt-O,
	CoCrPt-TiO2, Fe3O4, CoCrPt-B
	FePt-MgO(-SiO2,-ZrO2) etc
軟磁性下地膜用	Fe-Si, Fe-C, Fe-Ta-N, Fe-Al-Si,
	Co-Zr-Nb, ZnFe2O4, (Zn,Ni)Fe2O4, etc.
反強磁性膜用	Ru-Rh, Pt-Mn, Ir-Mn etc.
下地膜用	CoCr-SiO2, CoCr-TiO2, Ru-SiO2,
	Ru, Ru-Co, Ni-Ta etc.
シード膜用	MgO, CoO, NiO, Ni-Al etc.
ハーフメタル強磁性膜用	(La1-x Srx)MnO3, Co2FeSi
	Sr2FeMoO6, Sr2CrReO6, Ca2FeReO6, etc

(*)垂直磁気記録媒体の第１世代として、最も注目されている材料です。
高磁気異方性エネルギー、且つ低ノイズとすでに立証されています。

ディスプレイ材料

外部防湿・保護膜	Si-α, Si3N4, Si3N4-Si etc.
吸湿膜	SrO2, Sr(DPM)2, CaOx, Ca(DPM)2 etc.
電子注入層	CsF, LiF, LiO2, アルカリ金属媒体 etc.
金属電極	Al合金, Ag合金, Cu合金, Mg-Al, Mg-Ag, Pt-Cr, etc.
透明電極	ITO, ZnO-X, TiO2-X, SnO2-X etc.
反射防止（AR）膜用	High-n:TiO2, Nb2Ox, SrTiO3 etc.
	Low-n:SiO2, SiAlN etc.

高温超電導材料

Y系	YBa2Cu3Ox, Y2BaCuOx, 置換型
Nd系	NdBa2Cu3Ox, Nd4Ba2Cu2Ox, 置換型
Sm系	SmBa2Cu3Ox, Sm2BaCuOx, 置換型
Gd系	GdBa2Cu3Ox, Gd2BaCuOx, 置換型
混晶系	RE-BaCuOx (RE:Nd, Sm, Eu, Gd, 置換型)
Mn系	La1-xSrxMnO3, Pr1-xCaxMnOy
Buffer layer	SrTiO3, LaAlO3, MgO, YSZ
	CeO2, BaSnO3,
	BaO2, CaO2, SrO2
	(Sr1-xLax)TiO3
	SrAl0.5Ta0.5O3, SrAl0.5Nb0.5O3

高・強誘電体及び電極材料ターゲット

ゲート絶縁体用	La2O3, La2O3-Mox, HfO2, Y2O3
	HfO2-Al2O3 etc.
強誘電体用	PZT：Pb(Zr, Ti)O3, PZTN：Pb(Zr,Ti)Nb2O8
	PLZT：(Pb, La)(Zr, Ti)O3, PLT：PbLaTiOx
	KTN：K(Ta, Nb)O3, BLT：(Bi, La)4Ti3O12
	SBT：SrBi2Ta2O9,
	BNT：(Bi, Nd)4Ti3O12,
電極用	Pt, Ir, Ru, RuO2, SrRuO3
	(La, Sr)CoO3, Ti, TiN, TiOx, Ta, etc.
薄膜コンデンサー用	BST：(Ba, Sr)TiO3
	STO：SrTiO3

SOFC燃料電池

空気極材料	LSM, SSC, LaNiO3, LSC-YSZ
	Bi2Ru2O7, SSC-SDC etc.
燃料極材料	SDC, YDC, SDZ, YSZ
	BCY:BaCeYO3 etc.
電解質材料	Ni-SDC, Ni-YSZ, Ni-BCY
	Ni-YSZ etc.

薄膜型リチウムイオン電池

正極材料	LiNiO2, LiCoPO4, Li3PO4
	LiMn2O4 , LiCo1/3Ni1/3Mn1/3O2
	LiFePO4, LiCoO2,　etc.
負極材料	Si-Co, Si-Cu, Sn-Si, Sn-Mg,
	Sn-Si-Cu, Li4Ti5O12 etc
電解質	Li3PO4, Li6BaLa2Ta2O12 etc

各種薄膜型太陽電池

透明電極	ZnO-Al2O3,　SnO-SB2O3 etc.
反射防止膜	NbOx, MgF2, SiO2-TiO2,
	MgF2-SiO2 etc.
バッファ層	ZnS, ZnO etc
光吸収層	Cu-In, Cu-Ga, Si-Ge etc
透明半導体層	SnO2, InGaZnO4, CuAlO2 etc