特徴
- Siにマッチした熱膨張係数を有し、また熱衝撃に強く急熱・急冷に耐えます。
- 助剤レスであり、金属汚染及びパーティクル の発生を最小限におさえます。
- 耐プラズマ性およびフッ素系ガスの耐食性に優れています。
- 熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いウェーハです。
用途
- LP-CVD工程用ダミーウェーハ
- 高温拡散工程用ダミーウェーハ
- 各種耐熱、耐薬品性ダミーウェーハ
- エッチング工程用ダミーウェーハ
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