標準仕様

Diameter (mm)
2 inch 50.0±0.5
3 inch 76.0±0.5
4 inch 100.0±0.5
5 inch 125.0±0.5
6 inch 150.0±0.5
8 inch 200.0±0.5

Crystal Orientation(Unit:°)<100>±1.0

Thickness (μm)
2 inch 350±20
3 inch 380±20
4 inch 525±25
5 inch 625±25
6 inch 625±25
8 inch 725±25
Resistance
P Boron 11~20Ωcm
N Phos 1~10Ωcm
OF width (mm)
2 inch 16.0±2.0
3 inch 22.0±2.0
4 inch 32.5±2.5
5 inch 42.5±2.5
6 inch 47.5±2.5
8 inch 57.5±2.5

Orientation Flat (Unit:°)(110)±1.0

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