取扱商品紹介

高・強誘電体及び電極材料ターゲット

ゲート絶縁体用 La2O3, La2O3-Mox, HfO2, Y2O3
HfO2-Al2O3 etc.
強誘電体用 PZT:Pb(Zr, Ti)O3, PZTN:Pb(Zr,Ti)Nb2O8
PLZT:(Pb, La)(Zr, Ti)O3, PLT:PbLaTiOx
KTN:K(Ta, Nb)O3, BLT:(Bi, La)4Ti3O12
SBT:SrBi2Ta2O9,  
BNT:(Bi, Nd)4Ti3O12,
電極用 Pt, Ir, Ru, RuO2, SrRuO3
(La, Sr)CoO3, Ti, TiN, TiOx, Ta, etc. 
薄膜コンデンサー用 BST:(Ba, Sr)TiO3
STO:SrTiO3
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