単結晶基板

高純度SIC粉

SiC単結晶育成用高純度SiC粉・セラミック部品用高純度SIC粉を取り扱っております。

 

高純度GaCl3(高純度三塩化ガリウム)

GaN単結晶膜成長用、Ga2O3単結晶膜成長用として販売を開始しました。
専用容器も準備しております。

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高純度InCl3(高純度三塩化インジウム)

トリメチルインジウム(T M I)の原料、化合物半導体の原料、アルカリ電池用添加剤などに使用されています。

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Al-Scスパッタリングターゲット

移動通信端末には800~2500MHz帯で動作する高周波(RF: Radio Frepuency)フィルタが用いられています。
このRFフィルタには、圧電体基板の表面を伝搬する表面波SAW(Surface Acoustic Wave)を利用したSAWフィルタが広く使われています。
Al-Sc膜は、この用途に適しております。

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