取扱商品紹介

高純度AlNダミーウェーハ

特徴

  • Siにマッチした熱膨張係数を有し、また熱衝撃に強く急熱・急冷に耐えます。
  • 助剤レスであり、金属汚染及びパーティクル の発生を最小限におさえます。
  • 耐プラズマ性およびフッ素系ガスの耐食性に優れています。
  • 熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いウェーハです。

用途

  • LP-CVD工程用ダミーウェーハ
  • 高温拡散工程用ダミーウェーハ
  • 各種耐熱、耐薬品性ダミーウェーハ
  • エッチング工程用ダミーウェーハ
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