取扱商品紹介

AlN基板

特性

  AlN
FAN-170( 汎用 ) FAN-200( 高熱伝導 )
熱伝導率 W/m·K(RT) 170 200
熱放射率 (100ºC) 0.93
熱膨張係数 10-6/ºC(RT〜400ºC) 4.5
絶縁抵抗 Ω·cm(RT) >1013
絶縁耐圧 kV/mm(RT) 15
誘電率 (1MHz) 8.8
誘電体損失 104(1MHz) 5
曲げ強度 kgf/mm2 35
密度 g/cm3 3.3
イットリウム(助剤) wt% 3.5
不純物
(代表値)
ppm
Total < 500
C=150 , Fe=13 , Si=50 , Ca=170 , Mg=10 , Ti=10
Cr<1.7 , Cu<1.9 , Ni<6.6 , Na<5

特長

  • 熱伝導・熱放射率が大きく、放熱性が高い
  • Siにマッチした熱膨張係数を有する
  • 高電気絶縁性
  • 各種メタライズが可能

仕様

外形寸法 (最大)□200 (mm)
板厚寸法 0.25〜1(mm)
表面粗度 Ra ≦ 0.8 (μm)
レーザー加工 適宜対応可
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